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韩国Wonik IPS|供应三星西安3D Nand molding设备

CINNO CINNO 2020-11-10


文 | 小C君 · 编译 | Peter

来源 :Etnews



CINNO Research 产业资讯,2月20日韩国Wonik IPS公司拿下三星电子新款Molding设备(Quanta 5代/6代)订单。此设备将供应至三星电子Nand Flash中国西安2工厂,使用于3D Nand Flash制程。
根据韩媒Etnews报道,虽Wonik IPS公司的供应数量暂无具体资讯,但业界预测对公司业绩贡献巨大。

3D Nand Flash是将电路进行垂直叠加以提升容量的半导体。需要重复Oxide 和Nitride化学物质的超薄重复叠加,此过程也称之为Molding。Molding设备需要确保Oxide 和Nitride的均一叠加,所以超过100层以上的3D Nand制程时Molding设备的性能就十分重要。
图:Wonik IPS公司Molding设备Quanta

Wonik IPS公司拿下三星电子的Molding设备订单并非是首次,2014年时也曾供应过西安1工厂的Molding设备。但2017年后双方订单渐少,被美国Ram research挤下。三星电子的Molding设备订单基本全部被Ram research拿下。Wonik IPS切齿腐心为重夺市场加强研发和设备性能,终于重回三星供应链。

Wonik IPS提升了设备内Plasma密度,增加了Chamber数量以提升产能。尤其在100层以上的高叠层Nand Flash设备上的平坦薄膜制造优势明显。
半导体业界人士评论,虽Ram research也拿到订单,但Wonik IPS重回三星供应链的意义十分重大,Wonik IPS的平坦化性能上具有领先优势。
除了三星西安2工厂Molding设备订单外,Wonik IPS还拿下了韩国华城EUV线集成半导体蒸镀设备、平泽2工厂10纳米DRAM制程设备等订单。订单总规模约为7000亿韩币(约合41亿人民币)。Wonik IPS为应对暴增的订单,正在评估增设工厂。
设备业界人士认为,得益于三星电子新线供应订单,Wonik IPS今年营收或将刷新新纪录。
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